Modul 6052 - Technologie der Halbleiter und Mikrosysteme - FT 2020

Die Studierenden erhalten einen Überblick zu den technologischen Verfahren zur Herstellung hochintegrierter Halbleiterchips und Sensorik-Chips der Mikrosystemtechnik. In Übungen lernen die Studierenden Berechnungen zu Prozessparametern und Prozessführungen sowie das Parameterdesign von Halbleitersensoren aufgrund physikalischer, chemischer oder biologischer Grundlagen. Im Vergleich mit Datenblättern kann die Leistungsfähigkeit von Mikrochips beurteilt werden